MEMS датчики состоят из чувствительного нагревательного элемента, сформированного на кремниевой подложке с использованием MEMS-технологии, и металл-оксидного полупроводникового слоя, сформированного на чувствительном элементе.
При взаимодействии датчика с детектируемым газом проводимость меняется, чем выше проводимость, тем выше концентрация.
Базовая схема подключения датчиков требует два источника напряжения: для нагревателя (Vh) и для схемы (Vc).
Нагреватель требуется для поддержки заданного уровня рабочей температуры датчика, он может иметь DC или АС источник питания.
Vout – это напряжение нагрузочного сопротивления Rl, которое последовательно подключено к датчику.
Источник DC напряжения Vc используется для определения напряжения на нагрузочном сопротивлении.
Технические параметры MEMS датчиков газа
Тип датчики | GM-402B | GM-602B | GM-702B | GM-502B |
Детектируемый газ | метан CH4, пропан C3H8 |
сероводород H2S, бензол |
CO угарный газ, H2 водород |
алкоголь С2Н5ОН, водород Н2, формальдегид СН2О |
Диапазон измерений | 1-1000 ppm (CH4 метан) 1-5000 ppm (C3H8 пропан) |
0.5~50 ppm (H2S) | 10-5000 ppm (CO) 10-500 ppm (H2) |
10-500 ppm (C2H5OH) 1-1000 ppm (H2) 10-100 ppm (CH2O) |
Стандартные параметры схемы | Vc*: 4.9-5 В DC Vh*: 3 В |
Vc*: 24 В DC Vh*: 1.9 В ±0.1 В |
Vc*: 24 В DC Vh*: 2.5 В ±0.1 В (выс.темп.), 0.5 В ±0.1 В (низ.темп.) |
Vc*: 24 В DC Vh*: 2.5 В ±0.1 В |
Сопротивление нагревателя | 77-80 Ом | 80 Ом ±20 Ом | 80 Ом ±20 Ом | 80 Ом ±20 Ом |
Мощность потребления нагревателя | 80 мВт | 40 мВт | 50 мВт | 50 мВт |
Чувствительность | Rs(3000 ppm CH4)/Rs(воздух) ≥1.2-50 | R0(воздух)/Rs(50 ppm H2S)≥3 | R0(воздух)/Rs(150 ppm СО)≥3 | R0(воздух)/Rs(50 ppm этанол)≥3 |
*Vh – напряжение нагревателя, *Vc – напряжение питания
Чертеж
Вид | Наименование | Производитель | Наличие | Условие поставки | Цена, руб с НДС | Документация |
---|---|---|---|---|---|---|
GM-402B, MEMS датчик взрывоопасных газов 1-10000ppm | Winsen | 97 шт. | со склада |
от 100 - 249.04 от 70 - 251.69 от 40 - 254.35 от 10 - 257.00 от 1 - 270.00 |
||
GM-502B, MEMS VOC датчик испарений в воздухе 1-500ppm | Winsen | 20 шт. | со склада |
от 60 - 278.22 от 42 - 290.81 от 24 - 303.41 от 6 - 316.00 от 1 - 360.00 |
||
GM-602B, MEMS датчик сероводород MEMS | Winsen | 21 шт. | со склада |
от 100 - 480.41 от 70 - 496.61 от 40 - 512.80 от 10 - 529.00 от 1 - 590.00 |